空氣潔凈技術的昨天今天明天

    空氣潔凈技術是二次世界大戰后才開始形成和發展起來的環境工程技術。目前在加工、宇航工業、微電子工業等眾多工業領域得到廣泛應用，并以更加迅猛的發展趨勢擴展到醫療、制藥、食品、化妝品、無菌培植、遺傳工程等生物潔凈技術領域。

    二戰前的加工業其只在微米級水平上，尚無控制塵埃污染的要求。隨著生產水平的提高，首先是軍事工業和微加工技術對空氣中塵埃粒徑的控制要求提到了亞微米級別。對塵埃與產品質量間的關系有了量的概念

    于50年代初結合曼哈頓研究計劃，美國宇航工業率先研制成功第一臺高效能塵埃粒子過濾器開始，又建成世界第一個高級別平行流空氣潔凈室，保證了60年代微加工業順利地跨入了亞微米級外，使膠片的解相力每一毫米寬度能記錄下可分辯的單線條數發展到全息干版3000條線。而70年代開始出現的超大規模集成電路，其掩膜厚度已達到十分之幾到百分之幾微米，電器元件之間的金屬聯線之寬度一光刻基本圖形尺寸，小達到0.01微米。一顆塵埃，即使小到0.01微米也能使大規模集成電路片形成針孔或電路切斷、短路等事故而報廢。微電子工業從一九七五年動態隨機存儲器DRAM 16K到一九九八年的256K，平均每三年容量增加五倍，今后對小塵埃粒徑從目前的0.1微米控制技術還要低一至二個數量級。

    與上述空氣潔凈技術在深度上不斷發展的同時，在生物凈化領域得到了更廣泛的應用，成為今后主要發展方向和擴展的應用領域。

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